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MKS626B 绝对压力传感器


   MKS 626B绝对电容压力计

626型在MKS电容压力计中是比较经济的一种。这种传感器采用双电压电源(直流±15V)进行供电,量程为0.1到1000mmHg(Torr)。626型使用5脚滑块式接线端子,其输出信号为直流0-+10V,常温下工作。

 

MKS 626系列压力薄膜规,一个高性能的,金属薄膜的压力传感器, ±15VDC的输入和0-10VDC的模拟线性输出信号,它可以和MKS压力显示器连接,也可以和其他满足要求的控制仪器相连接。真空或压力的变化造成了传感器内部的金属薄膜的位置变化,金属薄膜的变化通过一个信号处理输出电路转换成一个可用的输出信号,提供非常快速的响应速度(小于20毫秒),非常低的滞后效应,杰出的可靠性和很高的分辨率(全量程的0.001%),优良的抗腐蚀能力,双面焊接的结构保证了操作的安全性。传感器本身可以承 受重复的高压至45Psia3.1Bar)而不会有任何的漂移和变形。  

  MKS626系列薄膜规是在常温下工作的,它的全量程范围从0.1Torr  1000Torr,适合于工业制造,电子,研发等工业领域。 

 

产品特点: 

直接测量腔体的压力值,与气体类型无关 

长期的输出稳定性保证了在任何应用中的现代技术发展的要求 

耐热的镉镍钛合金薄膜在化学反应环境中将不会有任何的损坏,包括卤素,电离水,蒸汽和臭氧  

   高的可靠性保证了偶然的系统意外造成的损坏

符合欧洲CEEMC标志

 

技术参数: 

  测量范围:1.0*10ˉ 1000 Torr

            1.3*10ˉ 1300 Mbar   

             13  130000 Pascal

  周围温度:0-50 

  过压限制:45 psia

  响应时间:小于20毫秒 

  电源要求:±15VDC,35ma 

  模拟输出: 0-10VDC,线性输出 

  测量精度:小于读数值的0.25% 

  分辨率:满量程的0.001% 

  开机预热时间:无需 

  安装方向:任意方向 

  内部容积:6.3立方厘米  

  材质:不锈钢,铝合金(暴露于工艺腔体中部分为耐热的镉镍钛合金薄膜) 

  重量:97   

  法兰形式:1/2Tube,8 VCR,8VCO,KF16,KF25.


MKS 626B绝对电容压力计订购资料(例如:626B11TDE


量程

订购序列号

0.1

.1T

0.25

RET

1

01T

2

02T

10

11T

20

21T

100

12T

500

52T

1000

13T

装配件

 

1/2管道

A

8VCR凹接口

B

Mini-CF,可转动

C

NW 16 KF

D

8VCO

E

2 3/4CF,可转动

L

NW 16 KF

Q

精度

 

标配:读数的±0.25%

E

标配:读数的±0.5%0.1Torr量程)

 

选配:读数的±0.15%

D


626B型的配套电缆


CBS2000S-1-M1用于将626连接到PDR2000电源


CB258-1-10用于将626连接到250,244                                                                          


CB259-5-10用于将626连接到PR4000,146,186,651,660

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