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MKS 640A质量流量控制器

MKS 640A质量流量控制器实拍图

MKS-640A质量流量控制器


      MKS 640A是一个精巧的、闭环压力控制的测量仪器,640A将电容薄膜规、正常关闭的比例控制阀和闭环控制的电路系统集成于一个精巧的仪器里,其独特的设计大大减小了原来压力薄膜规和比例控制阀分开配置的尺寸和线路连接的复杂性。

 

产品特点:

● 快速响应设定压力值

● 控制器的最小全量程可低至10Torr

● 将电容薄膜规、正常关闭的比例控制阀和闭环控制的电路系统集成于一个精巧的仪器里

● 内部压力薄膜规提供了精确、可靠和很宽的量程

● 可以用于上游或下游压力控制的应用

● 金属密封和弹性密封可选

● 2个压力设定用于工艺控制

● 符合欧洲CE认证标志

 

技术参数:

压力量程范围: 10,100,1000 Torr,60 Psi,100 Psi

流量量程范围: 50,200,1000,2000,5000,10000,20000,50000Sccm

最大过压限制: 45 Psia 或2倍于全量程

最大差压压力限制:150 Psi 用于 50 到10000Sccm

30 Psi 用于 20000 Sccm 到 50000 Sccm

控制方式: 下游控制(标准),上游控制(可选)

孔径最大量程:50,200,1000,5000 Sccm

最大压力差:150 Psi

控制方式:下游控制

压力测量精度:读数值的±0.5%(包括线性误差,滞后误差和重复性误差)

响应时间:小于100毫秒

压力控制:1)量程:全量程的2% 到 100%

2)精度:全量程的±0.2%

3)响应时间:小于1秒(到达压力设定值)

电源要求:±15VDC(±5%),200 mA

模拟输出:压力:0-10 VDC,线性输出(0-5 VDC可选)

电气通讯方式:模拟15针“D”型

电缆长度:小于30米

材质:316L不锈钢

泄露率:小于1*10ˉ9 scc/sec He

接头法兰:4 VCR Male,1/4”卡套,8 VCR Male

电气认证:符合欧洲CE认证

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