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E27C e-Baratron® -MKS真空计

E27C e-Baratron® -MKS真空计

E27C工作温度45℃.带刻蚀传感器的以太网/模拟的刻蚀压力计  


E27C使用了符合工业标准的627(作为平台,MKS的工程师在传感器中集成了一个沉积阻挡板.避免了工艺中相关化学物沉积对传感器探头产生覆盖的问题。新型的基于以太网的模拟元件增添了能与以太网集线器和其它器件进行连接以进行局域网或网络诊断的功能而无需将它从主系统中拆卸下来。与其它MKS的基于以太网的产品相类似E27C压力计包含了嵌入式互联网浏览软件使其能够与运行windowsPC进行数据通讯。由于以太网端口与标准模拟通讯端口是以并行方式运行,因此能在工艺过程中对压力计进行实时的诊断。这为用户执行它们本身的系统分析和解决问题提供了极大的帮助。对那些不使用以太网的用户,627C有一套外部的UD指示灯,能对压力计的工作状态提供直观的,快速的指示。


E27C工作温度45℃刻蚀压力计技术参数(例如:E27C01TGAC1B1


压力量程

采购序列号

0.1

.1

1

01

2

02

10

11

20

21

100

12

1000

13

压力测量单位

 

Torr

T

Mbar

M

kPa

K

Pa

L

装配件

 

1/2 OD

BA

8VCR凹接口

CE

8VCR凸接头

CF

NW 16KF

GA

NW25KF

GC

8VCO凹接口

DA

1 1/3ODmini-Conflat

HA

精度

 

读数的0.10%1.0Torr量程及以上)

C

读数的0.15%(低于1.0Torr

D

可选校准

 

标准:垂直

1

可选:水平

5

模拟连接器

 

15D型螺纹锁紧,凸接头

B

15D型滑动锁紧,凸接头

P

9D型螺纹锁紧,凸接头

A

9D型滑动锁紧,凸接头

Z

数字连接器

 

以太网RJ45插座—能进行诊断功能

1

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