当前的位置:首页 > 产品中心 > 万机MKS > 详情产品中心

MKS910系列真空计

MKS910系列真空计
HPS® 900 系列数字真空规集成了基于微处理器的控制板。具有量程广,使用方便的特点。它同时提供了数字和模拟通讯口。 
大气压至中真空压力 
- 901P 微皮拉尼/差压压电陶瓷规(1X10-5 - 1000Torr),带气体压开关。 
- 902 绝对压力压电陶瓷规(<1 - 1000Torr) 
- 925 微皮拉尼规(1X10-5 Torr – 大气压) 
- 910 微皮拉尼/绝对压力压电陶瓷规(1X10-5 - 1500Torr) 
- 903 反磁冷阴极电离规(3X10-10 - 5X10-3Torr) 
- 中真空至超高真空压力 
- 909AR 热阴极电离规(5X10-10 - 5X10-2Torr) 
- 971 UniMag™ 冷阴极电离规(1X10-8 - 5X10-3Torr) 
- 972 DuaMag™ 冷阴极电离/微皮拉尼规(1X10-8 Torr – 大气压) 
- 974 QuadMag™ 冷阴极电离/微皮拉尼/压电陶瓷规(1X10-8 - 1500Torr) 
- 979 热阴极电离/微皮拉尼规(5X10-10 Torr – 大气压) 
- 999 Quattro™ 热阴极电离/微皮拉尼/差压压电陶瓷规(5X10-10 - 1500Torr)

MKS910系列真空计是一个结合了皮拉尼的压力测量科技和一个电子控制传感器,它的测量范围可以从10ˉ5Torr 到1500Torr,压电规是一个与气体种类无关的直接测量的绝对压力传感器,它有一个特有的温度补偿功能从而达到在较宽的量程范围提供很高的测量精度压电规测量10ˉ1Torr到1500Torr,当真空压力低于10ˉ2Torr时微皮拉尼会对压电规自动调零。

 

产品特点:

● 集成了微电子和2个真空计于一体,大大节约了空间

● 超宽的测量范围从10ˉ5Torr到1500Torr

● 较经济的替换成本

● 由于910快速,精确和重复性的压力测量较小了工艺周转的时间

● 非常容易进行模拟输出和数字通讯

● 简易的安装于任何位置和方向

● 结合了半导体LOADLOCK的应用

● 可以抵御大气压的冲击和振动

● 不受气体种类的影响,压电陶瓷规可以精确测量大气压的压力

● 3个设定点提供了快速地稳定地工艺控制

● 符合欧洲CE,EMC标志

 

技术参数:

测量范围:1.0*10ˉ5 到1,500Torr 或1.3*10ˉ5 到2000Mbar 或1.3*10ˉ3 到200,000Pa

设定点范围:1.0*10ˉ4 到1,500Torr 或1.3*10ˉ4 到2000Mbar

或1.3*10ˉ2 到200,000Pa;有3个设定点。

校准气体: 空气,氩气,氦气,氮气,氢气,水蒸汽

周围环境温度:0-40℃

可烘烤温度: 85℃

数字通讯模式:RS485或RS232

调变点响应时间:压电陶瓷规:≤25毫秒

微皮拉尼规:≤300毫秒

电源要求:10 到 30VDC,150 毫安,1.5瓦

模拟输出: 1 到 9 VDC,

重复性:

大气压到 10ˉ2Torr 1%;

10ˉ3 Torr 时 5%;

10ˉ4 Torr 时 10%;

测量精度:

1000Torr 到 10Torr 1%

10Torr 到 10ˉ4Torr 10%

过压限制: 1500 Torr

安装方向:任意方向

内部容积: 0.65CM3

材料: 304 不锈钢

重量:209 克


910系列订购资料:

 

 

 

订购号

型号参数

910-11

910系列 NW 16 KF RS232

910-12

910系列 NW 16 KF RS485

910-41

910系列 4VCR  RS232

910-42

910系列 4VCR  RS485

910-51

910系列 8VCR  RS232

910-52

910系列 8VCR  RS485



首页 | 关于我们 | 产品中心 | 最新动态 | 技术支持 | 维修中心 | 人才招聘 | 联系我们 | 本站关键词:罗托克 | 罗托克执行器 | 罗托克电动执行器
版权所有 Copyright(C)2009-2015 乐清蒙特仪表有限公司