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901P系列真空计

901P系列真空计

901P系列真空计 

901P系列真空计(传输腔LLT专用的MlcroPirani/Piezo差压式真空传感器)


CE标记的901P系列传输腔(LLT)专用的差压式真空传感器是压电传感器和Pirani传感器的组合,它具有集成的电子控制线路、数字通讯系统、模拟输出和作为工艺控制标准特征的三个设定点。半导体设备通常都将真空锁作为持续抽空主反应腔室的界面。这些真空锁常被很快的被抽到真空状态,而传统Pirani测量计的响应时间较慢,会对它造成损坏。当真空锁处于大气压时,要使用一个独立的开关来指示表示什么时候开启阀门。HPS901P系列真空锁传感器(LLT)结合了一个真空测量计(MlcroPirani)和一个常压开关(压电),形成一个集成的,紧凑的组件。压电测量计是一个差分压力传感器,它能在各种不同的气候和海拔外部压力环境下正常工作,这样就能保护真空锁的阀门会在最佳时间打开。它的快速响应时间和广的测量范围为设备设计人员提供了极大的灵活性。


901P系列真空计主要参数:


测量范围:绝对1.0*10-5Torr1500Torr 差分 -760+760Torr


设定范围:5.0*10-4 Torr1000Torr  差分 -760+100Torr


精度:①微皮拉尼5x10-41X10-3Torr ±10%读数 1x10-3100Torr ±5%读数100Torr至大气压 ±25%读数  ②压差传感器 -10+10Torr±10%读数 -100-10Torr ±8%读数-760-100Torr ±1%读数 +10to100Torr±5%读数


重复性:①微皮拉尼1x10-3100 Torr ±2%读数 ②压差传感器-760+10Torr±1%读数


零点稳定性:±0.1%满量程(F.S.=760Torr)


电源要求:9 to 30 VDC,<1.2W


9O1P系列真空计订购资料(订货号如901P-11030):


型号

订购序号

901P LoadLock

901P-

接口类型

 

KF16

1

KF25

2

1/8NPT

3

VCR4

4

VCR8

5

CF1.33

6

KF16扩展

8

通讯接口

 

RS232/模拟

1

RS485/模拟

2

模拟输出

 

MKS标准

0

连接头和继电器

 

15D-sub母头/无接触点

2

15D-sub母头/3个接触点

3

15D-sub母头/3个接触点/双模拟差压输出

4

15D-sub母头/3个接触点/双模拟绝对压力输出

5

密封

 

标准/Viton密封

0

标准/Viton密封/带显示

4

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