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硅传感器测量差压的原理

信息来源:乐清蒙特仪表有限公司 发布时间:2013-5-16 14:05:12

       硅传感器测量差压的原理

 

       硅传感器是在单晶硅片上微加工两个H型振子的装置。

       如下图所示,由压力膜片通过密封液给硅膜片压力,当单晶硅片受到该压力时会因差压而变形,H型振子一个受到压力,另一个受到拉力。


硅传感器测量差压的原理

       这个拉力会使H型振子的固有频率发生变化,能够通过两个振子的频率差检测出差压,因此,硅传感器具有灵敏度高,化学及物理特性长期稳定的特点,是性能优良的差压变送器检测部分。

       上述传感器60个月(5年)的零点漂移数据如下图所示,其中包括周围环境温度变化产生的影响。


零点漂移
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